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簡(jiǎn)要描述：體積電阻率 表面電阻測(cè)試儀本測(cè)試儀特增設(shè)雙窗口同步顯示測(cè)試結(jié)果（電阻率或表面電阻）及測(cè)試條件（電壓或電流）功能固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀主要由主機(jī)、高壓測(cè)試臺(tái)等部分組成。主機(jī)主要由高壓電源、數(shù)控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。高壓測(cè)試臺(tái)主要由標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形三電極和連接線等組成
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-20訪 問(wèn) 量：2578產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
體積電阻率 表面電阻測(cè)試儀
LST-121型固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀是按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》研制的多用途綜合測(cè)量裝置，它可以測(cè)試固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率，也可單獨(dú)作為超高電阻計(jì)或微弱電流表使用。
本測(cè)試儀特增設(shè)雙窗口同步顯示測(cè)試結(jié)果(電阻率或表面電阻)及測(cè)試條件(電壓或電流)功能
固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀主要由主機(jī)、高壓測(cè)試臺(tái)等部分組成。主機(jī)主要由高壓電源、數(shù)控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。高壓測(cè)試臺(tái)主要由標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形三電極和連接線等組成！對(duì)于小面積高阻薄膜類樣品方阻測(cè)試可以選配LST-121-F02型方阻探頭。體積電阻率 表面電阻測(cè)試儀
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；可自動(dòng)/手動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量簡(jiǎn)便、讀數(shù)方便等特點(diǎn)。
本儀器適用于防靜電產(chǎn)品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測(cè)量。微弱電流測(cè)量如光電效應(yīng)和器件暗電流測(cè)量.
1. 測(cè)量范圍、分辨率
測(cè)試電壓范圍UX: 0.1V ～500V.
電阻測(cè)試范圍RX: 1×102Ω ～5×1013Ω， 分辨率1/2000,
電流測(cè)試范圍IX: 1.5× 10-3A ～ 10× 10-12A,分辨率1/2000。
體電阻率試范圍ρV: FV×102Ω-cm ～FV×1012Ω-cm，F(xiàn)V體電阻率修正系數(shù)1～99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極FV=23.76cm/h
表面電阻率測(cè)試范圍ρS: FS×103Ω/□～FS×1017Ω/□，F(xiàn)S表面電阻率修正系數(shù)1～99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極FS=34.55 lst-121 LST-121
2. 電阻量程劃分（電阻率要乘以相應(yīng)修正系數(shù)1～99）、測(cè)試條件及誤差等級(jí)
序號(hào) | 量程 | 有效測(cè)量范圍 | 測(cè)試電壓 | 測(cè)試電流 | 誤差 |
1 | 103Ω-cm/□ | 0.100～1.000 | 1.00V | 1.000～0.100 mA | ±5% FSB |
2 | 103Ω-cm/□ | 01.00～10.00 | 10.0V | 1.000～0.100 mA | ±3% FSB
|
3 | 103Ω-cm/□ | 010.0～450.0 | 100V | 1.000～0.100 mA | |
4 | 106Ω-cm/□ | 0.450～4.500 | 500V | 1.000～0.100 mA | |
5 | 106Ω-cm/□ | 04.50～50.00 | 500V | 100.0～010.0μA | ±5% FSB |
6 | 106Ω-cm/□ | 050.0～500.0 | 500V | 10.00～1.00μA | |
7 | 109Ω-cm/□ | 0.500～5.000 | 500V | 1.000～0.100μA | |
8 | 109Ω-cm/□ | 05.00～50.00 | 500V | 100.0～010.0 nA |
±8%FSB
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9 | 109Ω-cm/□ | 050.0～500.0 | 500V | 10.00～01.00 nA | |
10 | 1012Ω-cm/□ | 0.500～5.000 | 500V | 1.000～0.100 nA | |
11 | 1012Ω-cm/□ | 05.00～50.00 | 500V | 100.0～010.0 pA | ±10%FSB
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3. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸（以標(biāo)準(zhǔn)電極為）
直 徑： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 寬(W)×長(zhǎng)(L)≥90mm×90mm，或直徑 Φ≥90mm
厚 度： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 厚度d≤2.5mm,
4. 電源：
功耗：主機(jī)< 15W
輸入: 220V±10% 50Hz
5. 本儀器工作條件為：
溫 度： 0～35℃
相對(duì)濕度： ≤60%
工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。
6. 外形尺寸：
主 機(jī)： 320mm（長(zhǎng)）×320 mm（寬）×135mm（高）
高壓測(cè)試臺(tái)： Φ=100mm（底座直徑）×80 mm（高）
1. 測(cè)試原理：體電阻率和表面電阻率測(cè)試原理簡(jiǎn)介如下：
注：詳細(xì)原理請(qǐng)參照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》
[1]體電阻率表面電阻率測(cè)量基本原理圖：
如下 圖1 固體絕緣材料電阻率測(cè)試原理圖
[2]體電阻率表面電阻率測(cè)量常用電極示意圖：
如下 圖2 標(biāo)準(zhǔn)平板樣品測(cè)試電極原理圖
如下 圖3 標(biāo)準(zhǔn)管狀樣品測(cè)試電極原理圖
[3]體電阻率表面電阻率測(cè)量計(jì)算公式：
[4]體電阻率表面電阻率測(cè)量重復(fù)性：
[5]體電阻率表面電阻率測(cè)量測(cè)試報(bào)告注意點(diǎn)：
[6]體電阻率表面電阻率測(cè)量快捷方式--標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電極時(shí)的修正系數(shù)：
當(dāng)測(cè)試樣品形狀和測(cè)試電極形式確定時(shí)，則樣品體電阻率或表面電阻率與體電阻的換算系數(shù)就是常數(shù)。本儀器不但可以直接測(cè)試顯示測(cè)試電壓測(cè)試電流值，還可以設(shè)定相應(yīng)換算系數(shù)值，就可以直接顯示樣品體電阻率或表面電阻率值。下是本機(jī)配備的測(cè)試三電極參數(shù)和測(cè)試樣品體電阻率或表面電阻率對(duì)應(yīng)修正系數(shù)：
注：參照?qǐng)D2，按以下修正系數(shù)，體電阻率終單位為Ω·cm表面電阻率為Ω/□
表3.1 環(huán)形三電極修正系數(shù)
序號(hào) | 樣片圖示 | 基本尺寸參數(shù) | 樣品修正系數(shù)F | 備注 |
1 標(biāo)準(zhǔn) 環(huán)形 三電 極 |
| d1= 50.0mm d2= 60.0mm d3=80.0mm d4=90.00 g= 5.0mm
| a體電阻測(cè)量 F=1.00 b體電阻率測(cè)試： FV=A/h=(23.76/h) cm c表面電阻率測(cè)試： FS=P/g=34.55 | 1:標(biāo)準(zhǔn)平板樣品 2:h 樣品厚度cm （標(biāo)準(zhǔn)配置） |
2 薄膜 方阻 環(huán)形 三電 極
|
LST-121-F02 | d1=3.0mm d2=7.0mm d3=9.0mm d4=忽略 g= 2.0mm
| A薄膜方塊電阻率測(cè)試： FS=P/g=7.85 | （選配探頭） 測(cè)試高阻薄膜方塊電阻 |
2. 電氣原理
LST-121型超高阻微電流測(cè)試儀原理方框圖如圖3.3所示。
圖3.3 LST-121原理方框圖
主機(jī)為儀器主要電氣部分所在，在其面板結(jié)構(gòu)特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成如圖4.1所示。
圖4.1 LST-121面板特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成示意圖
主機(jī)后蓋板設(shè)有交流220V電源插座和保險(xiǎn)絲座以及電源開(kāi)關(guān)。
ST2643型超高阻微電流測(cè)試儀能夠測(cè)量普通電阻器或絕緣材料的體電阻RX（修正系數(shù)1.000），絕緣材料體電阻率ρV、表面電阻率ρS（后二項(xiàng)需調(diào)整不同的修正系數(shù)），也可用作為微電流測(cè)試儀。
5.1 操作概述
(1) 測(cè)試準(zhǔn)備（以體電阻率或表面電阻率測(cè)試為例）：
主機(jī)電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置，將電源插頭插入具有漏電保護(hù)斷路器的電源插座。打開(kāi)主機(jī)電源，預(yù)熱半小時(shí)后，投入使用為宜！測(cè)試電極和測(cè)試樣品應(yīng)在測(cè)試前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。
如圖4-1，將測(cè)試臺(tái)的線纜插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來(lái)，連接方式按照測(cè)試需要電阻率或方阻，參照原理章節(jié)3.1和圖1。將電極與樣品良好接觸，注意三電極中圓柱電極、環(huán)型電極和平板電極要同軸放置，樣品置于平板電極之上和圓柱電極、環(huán)型電極之下，平板電極的絕緣板朝下。
測(cè)試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對(duì)于測(cè)試結(jié)果大于高阻106的再選其它檔。如100V或更高電壓，主要原則就是測(cè)試電流要有3位到4位顯示值。
圖 5-1A 設(shè)定參數(shù) 圖5-1B測(cè)試電流 圖5-1C測(cè)試電壓
(2) 參數(shù)設(shè)定：
儀器開(kāi)機(jī)默認(rèn)狀態(tài)為“設(shè)定” 模式，參照?qǐng)D5.1A LST-121面板示意圖，右窗口右側(cè)“設(shè)定”模式燈亮，通過(guò)鍵盤輸入需要的修正系數(shù)。系數(shù)有效范圍為00.01～99.99，,當(dāng)前設(shè)定系數(shù)由右側(cè)窗口顯示。輸入完畢要按“確定”鍵保存。按鍵操作詳見(jiàn)下5.2節(jié)鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說(shuō)明，儀器默認(rèn)修正系數(shù)（F=1.000）, 對(duì)于儀器所配電極，測(cè)試體電阻率或表面電阻率參照表3.1查取系數(shù)FV或FS,對(duì)于其他非標(biāo)準(zhǔn)電極，參照原理章節(jié)3.3計(jì)算FV或FS
(3)測(cè)量：
設(shè)定完畢，按“模式”鍵，切換儀器到“測(cè)量”模式（電流或電壓）。按“啟動(dòng)”按鈕，啟動(dòng)高壓并開(kāi)始測(cè)試，窗口左側(cè)顯示體電阻率或表面電阻率（具體由設(shè)定系數(shù)意思確定），右側(cè)窗口顯示測(cè)試電流或測(cè)試電壓，如圖5-1B圖5-1C，由“模式”按鍵選擇，右側(cè)狀態(tài)指示燈指示。由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量結(jié)果。
！ 面板鍵盤詳細(xì)操作規(guī)則請(qǐng)見(jiàn)“鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說(shuō)明”。
（4）樣品的取出
首先按“停止”按鈕切斷高壓電源！再?gòu)膬x器面板上UH和UL端拔掉高壓連接線，取出樣品！
5.2.鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說(shuō)明（請(qǐng)參見(jiàn)圖4.1 LST-121面板示意圖）
(1) 設(shè)定模式時(shí)鍵盤輸入與顯示規(guī)則
序 號(hào) | 鍵名 | 功能描述 | 對(duì)應(yīng)顯示 | 備注 |
1
| “模式” | 儀器“設(shè)定”和“測(cè)量”模式(“電壓”或“電流”)切換鍵。三者輪流選中 【開(kāi)機(jī)默認(rèn)“設(shè)定”】 | “設(shè)定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當(dāng)前模式。
| 儀器只有在“設(shè)定”模式才接受各類參數(shù)設(shè)定，只有在“測(cè)量”模式才測(cè)量參數(shù)。 |
2 | “0”、“1”、“2”……“8”“9” | 設(shè)定參數(shù)時(shí)，對(duì)應(yīng)有效數(shù)字0、1、2…9輸入鍵。 | 窗口共顯示四位有效數(shù)字，閃爍提示當(dāng)前等待輸入位，數(shù)字輸入后,閃爍提示自動(dòng)移至低一位, | 參數(shù)設(shè)定開(kāi)始提示位為左第yi位（gao位）,以后第yi至第四位（di位）循環(huán)提示． |
3 | “.” | 設(shè)定參數(shù)時(shí)小數(shù)點(diǎn)輸入鍵。 | 輸入時(shí)當(dāng)前已輸入位小數(shù)點(diǎn)亮． | 數(shù)據(jù)返回顯示時(shí)，定點(diǎn)在當(dāng)中“**.**”位。注意數(shù)據(jù)輸入有效范圍。 |
4 | “取消” | 當(dāng)前已輸入位取消，當(dāng)前等待輸入位向高（左）退一位， | 閃爍提示向高（左）退一位, |
|
5
| “確認(rèn)” | 當(dāng)前參數(shù)設(shè)定完畢（有效數(shù)字、小數(shù)點(diǎn)），按該鍵保存設(shè)定值。 |
| 參數(shù)設(shè)定完畢不按該鍵，儀器不保存設(shè)定值。退出該設(shè)定后，該項(xiàng)數(shù)據(jù)丟失。 |
6 | 其他 | 不響應(yīng) |
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|
(2) 測(cè)量模式時(shí)鍵盤輸入與顯示規(guī)則
序號(hào) | 鍵名 | 功能描述 | 對(duì)應(yīng)顯示 | 備注 |
1
| “模式” | 儀器“設(shè)定”和“測(cè)量”模式中“電壓”或“電流”切換鍵。三者輪流選中 【開(kāi)機(jī)默認(rèn)設(shè)定】 | “設(shè)定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當(dāng)前模式。
| 儀器只有在“設(shè)定”模式才接受各類參數(shù)設(shè)定，只有在“測(cè)量”模式才測(cè)量參數(shù)。 |
2 | “A/H” | 當(dāng)前測(cè)試電流檔位“自動(dòng)/手動(dòng)”方式切換鍵 【開(kāi)機(jī)默認(rèn)自動(dòng)】 | “自動(dòng)”時(shí)， “手動(dòng)” | 只有測(cè)量模式，此鍵才有效。 |
3 |
| 手動(dòng)方式下，手動(dòng)切換電流量程按鍵，分別為向左（大）向右（?。┕δ?。 | 切換后，對(duì)應(yīng)量程指示燈和小數(shù)點(diǎn)作相應(yīng)改變！ | 只有測(cè)量模式，在手動(dòng)方式，手動(dòng)切換按鍵 |
4 | 其他 | 不響應(yīng) |
|
|
5.3.兩端子電阻器體電阻測(cè)試操作：
對(duì)于兩端子電阻器體電阻RX測(cè)量，利用“UH”作高壓輸出，經(jīng)電阻器，再由“Ii”端輸入構(gòu)成測(cè)試回路，“UL”端不用。
5.4.作為微電流表的測(cè)試操作：
對(duì)于單獨(dú)作為微電流表的測(cè)量操作，利用“Ii”作電流輸入端，經(jīng)儀器，再由“UL”端輸出構(gòu)成測(cè)試回路，“UH”端不用。
5.5.作為小型薄膜方阻的測(cè)試操作：（選配LST-121-F02小型薄膜方阻測(cè)試探頭）
如左圖5-2，對(duì)于外形尺寸較小10mmX10mm以下的高阻薄膜，測(cè)試方阻，ST2254-F01型標(biāo)準(zhǔn)電極因尺寸較大不好測(cè)試，可以選用小型LST-121-F02型環(huán)形電極探頭。
薄膜測(cè)試注意點(diǎn)，首先測(cè)試電壓盡量選用50V，高阻需要才選500V。特別是不可高壓未關(guān)閉就進(jìn)行探頭升降操作，這樣會(huì)在電極和薄膜接觸未穩(wěn)狀態(tài)時(shí)打火，灼傷或燒壞薄膜，引起測(cè)試不準(zhǔn)甚至測(cè)試不出數(shù)據(jù)！如圖所示。
圖5-2 LST-121-F02環(huán)形探頭
六.高壓高阻測(cè)試操作注意點(diǎn)：
高壓高阻測(cè)量一定要嚴(yán)格按使用方法步聚進(jìn)行，否則有可能造成儀器損壞或電人。
6.1 禁止將“Rx”兩端短路，
以免微電流放大器受大電流沖擊損壞
6.2 在測(cè)試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓。
隨意改動(dòng)測(cè)量電壓可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器，而且有的材料是非線性的，即大范圍內(nèi)電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測(cè)量的電阻也會(huì)變化。測(cè)試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對(duì)于測(cè)試結(jié)果大于高阻1010的再選500V檔。再電壓檔位切換時(shí)，應(yīng)該先關(guān)閉高壓。
6.3 測(cè)量時(shí)從低次檔逐漸拔往高次檔
測(cè)量時(shí)盡量用手動(dòng)方式，從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留至少1～2秒以使觀察顯示數(shù)字，當(dāng)被測(cè)體電阻大于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“
”，表示超量程，當(dāng)被測(cè)體電阻小于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“
”，表示欠量程，儀器超或欠量程時(shí)，量程指示燈和顯示數(shù)據(jù)會(huì)閃爍。此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高或更低的位置，當(dāng)儀器測(cè)量量程合適時(shí)，便停止閃爍，穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔位指示數(shù)量級(jí)指數(shù)即是被測(cè)值。當(dāng)有穩(wěn)定顯示數(shù)字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測(cè)儀器會(huì)過(guò)量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開(kāi)始工作，超或欠量程儀器測(cè)量準(zhǔn)確度會(huì)下降。!
6.4 大部分絕緣材料，特別是防靜電材料的電阻值在加電壓后會(huì)有一定變化而引起數(shù)字變化
由于本儀器的分辯率很高，因而會(huì)引起顯示值的末尾幾位數(shù)也變化，這不是儀器本身的問(wèn)題，而是被測(cè)量對(duì)象的導(dǎo)電機(jī)理復(fù)雜而使得阻值有些變化。在這種情況下往往取2位有效數(shù)就夠了。
6.5 接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分
本儀表有三連根線:高壓線(紅/黑)和微電流測(cè)試線。在使用時(shí)要注意高壓線，開(kāi)機(jī)后人不能觸及高壓線，以免電人或麻手。
6.6 測(cè)試過(guò)程中不能觸摸微電流測(cè)試端
微電流測(cè)試端怕受到大電流或人體感應(yīng)電壓及靜電的沖擊。所以在開(kāi)機(jī)后和測(cè)試過(guò)程中不能與微電流測(cè)試端接觸，以免損壞儀表。
6.7 在測(cè)量高阻時(shí)，應(yīng)采用屏蔽盒將被測(cè)物體屏蔽.
在測(cè)量大于1010 Ω以上時(shí)，為防止外界干擾面而引起讀數(shù)不穩(wěn)。
6.8 每次測(cè)量完時(shí)應(yīng)將量程開(kāi)關(guān)撥回“103”檔再進(jìn)行下次測(cè)試
在測(cè)量時(shí)應(yīng)逐漸將量程開(kāi)關(guān)撥到高阻檔，測(cè)量完時(shí)應(yīng)將量程撥回低檔。以確保下次量程處在低阻量程檔。
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LST-121-F01
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